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NHC-3D-AFVI
· Line Confocal Scanner를 적용하여 Bump높이를
실시간 초고속/초정밀 검사하는 시스템
· 불량 이미지 및 좌표 VRS 연동 Software
· 강력한 검사영역 편집 Software
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Content
항목 |
사양 |
비고 |
Camera Type |
Line Confocal Scan 1220 |
협의가능 |
Hight 분해능/ FOV |
50nm/11.6mm |
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2D 광학 분해능 |
6.7um |
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검출불량 |
Bump 높이/ Diameter/ Missing/ 기타 |
협의가능 |
Scan Time |
400um이하, 100mm/s |
협의가능 |
분량 분류 |
강력한 사용자 편집 기능 |
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