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· HBM 자동 Align 및 Contact 장비 · Linear Robot와 Linear Scale로 정밀한 반복 정밀도 적용. · 3㎛이내의 위치 반복성에 대응 가능 · 2D Area Camera으로 미세 HBM Align, Dual Optical System으로 HBM Socket과 MEMS Socket의 초정밀 Align을 구현.
· Wafer Bonding 장비 · 상하부 Glass Wafer의 Align mark를 UVW Stage을 이용하여 3㎛이내의 위치 반복성에 대응 가능 · 상하부 Glass Wafer와 관련하여 Tilting 기능을 활용하여 평탄도 유지 가능. · UV Lamp으로 경화 기능. · Automizing으로 제작 가능
· PCB Bump Height/Diameter 검사 장비 · 광삼각법을 이용한 3D와 2D의 일체형 모듈 적용 · 고속 영상 취득 및 3D 알고리즘 기술 적용 · 3D Bump Measurements · 2D Bump measurements · 사용자 편의를 위한 검출 파라메타 편집 Software
· PCB Bump Height/Diameter 검사 장비 · Confocal Line Sensor를 적용한 PCB Bump 높이 검사 장비 · 강력한 검사영역 편집 Software · 불량 이미지 및 좌표 연동 Software
· PCB 표면 검사 장비 · Color 또는 Mono TDI Line Scan Camera를 적용한 PCB 표면 검사 장비 · 강력한 검사영역 편집 Software · 불량 이미지 및 좌표 연동 Software