· Open Metal Mask 표면 검사 장비
· 18K Line Scan Camera를 2개 장착하고 있으며, 2㎛의 분해능
· AFM(Auto Focus Module)을 적용하여 검사 진행 시 Auto Focus 적용
· 2개의 카메라로 검사를 진행하여 검사 시간 단축
· 검사 알고리즘으로 결손/돌출/핀홀/DFR Defect 검출
· 작업자 편의와 작업 속도 향상을 위한 턴 테이블 장치 설치
· 리뷰용 카메라를 이용한 불량 부분 확인 기능