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NHC-MAC-H1000
· HBM 자동 Align 및 Contact 장비
· Linear Robot와 Linear Scale로 정밀한 반복 정밀도 적용.
· 3㎛이내의 위치 반복성에 대응 가능
· 2D Area Camera으로 미세 HBM Align, Dual Optical System으로 HBM Socket과 MEMS Socket의 초정밀 Align을 구현.
본문
항목 |
사양 |
비고 |
장비 사이즈 [W x L x H ] |
602mm x 564mm x 600mm |
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Align Camera Spec |
분해능 1.85um X1.0 |
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Align Camera 용도 |
HBM Align |
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Dual Optic Camera Spec |
분해능 2.4um X2.0 |
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Dual Optic Camera 용도 |
Socket Contact View |
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전장 Spec |
단상 220V/40A |
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Air Utility |
6 Kgf/㎠ |
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