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· NHC-M2D-OMMLPE
· Open Metal Mask LASER Pattern 가공 장비
· 고성능 18K TDI Line Scan Camera를 이용하여 Open Mask 내부의 특정 위치를 측정 및 검사 후 레이저를 이용한 가공 장비
본문
항목 |
사양 |
비고 |
Defect Detection |
Open Mask 치수측정 및 검사 |
협의 가능 |
Line Scan Camera |
18k Line Scan Camera 17824x256 142Khz |
|
Lens |
X 1.75 |
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Pixel Resolution |
2 um |
협의 가능 |
Field Over View |
35.6 mm |
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검출 정밀도 Resolution |
± 6 um 이상 |
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Work Distance |
약 60 mm 이상 |
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Scan Speed |
Max 280mm/s(Auto Focusing 미포함) |
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Auto Focusing Scan Speed |
Max 60mm/s |
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Inter Face |
Ethernet , 기타 |
협의 가능 |
Inspection Controller |
4u Rack Type i7 Core, Memory 64G, SSD |
|
Auto Focusing Controller |
2u Rack Type |
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